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什麽是擴散爐呢?

發布時間:2018-11-05    

什麽是擴散爐呢?



擴散爐是半導體器件及大規模集成電路製造過程中用於對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝的一種熱加工設備。

1、可保存多條工藝曲線,每條曲線可設置多步。

2、工藝曲線的自動運行控製功能。

3、自動運行中可暫停/繼續運行功能。

4、工藝中可強製跳到下一工藝步運行功能。

5、智能升降溫斜率控製功能。

6、係統故障的檢測與報警功能。

7、係統誤差修正(單點或多點動態修正功能)。

擴散爐用於大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。較新的低壓磷擴散利用低壓氛圍可以得到更好的方塊電阻均勻性和更大的生產批量,擴散爐生產廠家,同時對環境的影響比較小。氧免费国产毛片在线播放藝是使矽片表麵在高溫下與氧化劑發生反應,生長一層二氧化矽膜。氧化方法有幹氧和濕氧,濕氧包括水汽氧化和氫氧合成兩種。

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